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萊伯泰科出席半導(dǎo)體檢測(cè)培訓(xùn)班,技術(shù)報(bào)告聚焦國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜受矚目

更新時(shí)間:2025-11-06      點(diǎn)擊次數(shù):281
導(dǎo)讀

10月28日至31日,由中國(guó)科學(xué)院人事局資助、中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所主辦的第二屆“半導(dǎo)體材料與器件量測(cè)和檢測(cè)技術(shù)"培訓(xùn)班在上海成功舉辦。本屆培訓(xùn)班匯聚了來(lái)自全國(guó)的科研院所、高校和企事業(yè)單位的半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)<遗c科研人員。萊伯泰科作為被邀請(qǐng)參會(huì)的國(guó)產(chǎn)高端科學(xué)儀器代表企業(yè),攜自主研發(fā)的LabMS5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀亮相會(huì)場(chǎng),并分享了國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的最新應(yīng)用進(jìn)展及成果。

萊伯泰科出席半導(dǎo)體檢測(cè)培訓(xùn)班,技術(shù)報(bào)告聚焦國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜受矚目
萊伯泰科出席半導(dǎo)體檢測(cè)培訓(xùn)班,技術(shù)報(bào)告聚焦國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜受矚目

會(huì)上,萊伯泰科質(zhì)譜事業(yè)部ICP-MS產(chǎn)品經(jīng)理陳磊在培訓(xùn)班上作了題為《國(guó)產(chǎn)ICP-MS/MS檢測(cè)濕電子化學(xué)品的最新應(yīng)用進(jìn)展》的專題報(bào)告。在集成電路的制造過(guò)程中,濕電子化學(xué)品扮演著至關(guān)重要的角色,它們不僅是制造工藝的“血液",更是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能的關(guān)鍵因素。陳磊經(jīng)理詳細(xì)介紹了公司自主研發(fā)的LabMS 5000質(zhì)譜儀在半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品檢測(cè)中的技術(shù)突破,該儀器憑借高靈敏度、低檢測(cè)限及優(yōu)異的抗干擾能力,可精準(zhǔn)檢測(cè)濕電子化學(xué)品中痕量金屬雜質(zhì),為半導(dǎo)體工藝質(zhì)量控制提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

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展會(huì)現(xiàn)場(chǎng),萊伯泰科展出的LabMS5000引發(fā)廣泛關(guān)注。LabMS 5000作為國(guó)內(nèi)首款通過(guò)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI S2認(rèn)證的電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀,其檢測(cè)精下限達(dá)到ppt級(jí)及亞ppt級(jí),可滿足先進(jìn)制程工藝對(duì)痕量元素分析的嚴(yán)苛要求。該產(chǎn)品的成功研發(fā),不僅打破了進(jìn)口設(shè)備長(zhǎng)期壟斷的局面,更為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供了關(guān)鍵檢測(cè)裝備支撐。

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公司董事長(zhǎng)胡克博士曾在近期行業(yè)會(huì)議上指出,國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器要實(shí)現(xiàn)從“配角"到“主角"的轉(zhuǎn)變,必須突破技術(shù)壁壘、深耕應(yīng)用場(chǎng)景、加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)生態(tài)協(xié)同。萊伯泰科正是憑借“場(chǎng)景驅(qū)動(dòng)創(chuàng)新"的戰(zhàn)略,圍繞半導(dǎo)體材料在線檢測(cè)等新興領(lǐng)域,開發(fā)高度適配本土需求的定制化儀器設(shè)備。

目前,萊伯泰科已與多家半導(dǎo)體龍頭企業(yè)建立深度合作,為提升國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料質(zhì)量管控水平提供了重要技術(shù)保障。公司負(fù)責(zé)人表示,未來(lái)將持續(xù)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈檢測(cè)需求,加速推進(jìn)高端科學(xué)儀器國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程,助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

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